天眼查显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司“光学扩展模组和具有其的光学系统”专利公布，申请公布日为2024年9月24日，申请公布号为cn118688972a。
本发明提供了一种光学扩展模块和光学系统，其中光学H e N扩展模块包括：
- 空间光调制器6 P W [ , Y
- 扩展镜组，3 X h l 5 5设置在空间光调制器的一侧，通过主成像透镜、反射镜组或棱镜组形成多个展开光路
- 多个微透镜阵列模块，设置在扩展镜组远离空间光调制器的一侧并位于主成像透镜的像面上，每个微透镜阵列模块对应一个展开光路
- 每个展开光路对应一个T R 5 e ) t x D子成像透镜，每个子成w [ 5 v K `像透镜与微透镜阵列模块一一对应设置，子成像透镜设置在微透镜阵列模块远离扩展镜组的一侧
根据本发明的实施例，光学扩展模块具有以下优点：
- 提高了线路的曝光效率
- 降低了维护成本
以上就是芯碁微装“光学扩展模组和具有其的光学系统”专利公布的详细内容！
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